半导体行业用钛粉末烧结滤芯
发布时间：2025-05-15 来源：利菲尔特
在半导体行业中，钛粉末烧结滤芯凭借其优异的性能被广泛应用于超纯水系统、化学药液过滤以及工业气体净化等环节，以下是具体分析：
一、核心性能优势
高精度过滤：通过粉末冶金工艺实现孔径分布均匀，过滤精度范围覆盖0.2μm至100μm，可有效拦截化学药液中的微米级颗粒杂质，避免半导体芯片污染。
耐腐蚀特性：钛材质对盐酸、硫酸、氢氧化物等强腐蚀性介质具有高耐受性，确保在半导体制造的酸碱工艺中稳定运行。
耐高温能力：在280℃以下可正常使用，满足半导体生产中高温工艺环节的过滤需求。
抗污染设计：表面颗粒不易脱落，避免对超纯水系统造成二次污染，保障芯片制造的水质纯度。
二、半导体行业应用场景
超纯水系统：在芯片制造工艺中，用于过滤超纯水中的微小颗粒、有机物和微生物，确保水质达到电子元件制造的高纯度要求。
化学药液过滤：针对光刻、蚀刻等工艺使用的化学药液，有效去除颗粒杂质，提升产品良率。
工业气体净化：对半导体制造中使用的氮气、氢气等工艺气体进行除尘、除微粒处理，构建洁净气体环境。
三、技术参数适配性
过滤精度覆盖：提供0.2μm至100μm多级精度选择，可匹配不同半导体工艺环节的过滤需求。
孔隙率优势：孔隙率达28%-50%，结合低阻力设计，实现高渗透效率与大流量处理。
机械强度保障：耐压强度0.5-3.5MPa，内压破坏强度最高达2MPa以上，适应高压工作环境。
接口定制能力：支持M20、M30等标准螺纹接口及特殊规格定制，便于与半导体设备集成。
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