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半导体芯片行业用玻纤烧结滤芯

发布时间:2025-05-24     来源:利菲尔特

在半导体芯片行业中,玻纤烧结滤芯具有过滤精度高、耐高温、耐腐蚀、运行阻力低等优势,适用于气体排放净化、化学药液过滤等环节,以下是具体分析:

过滤精度高:玻纤烧结滤芯可将0.1μm及以上的微细粉尘达到99.99%以上的过滤效率,实现近于零的排放。在半导体芯片制造过程中,对于气体和液体的纯净度要求极高,该滤芯能够有效拦截气体中的固体颗粒、液体滴雾等污染物,保证工艺环境的洁净度,满足芯片制造对超纯水、化学药液等的高纯度要求。

耐高温:玻纤烧结滤芯长期使用温度可达260℃,短期及瞬间温度可达300℃(阻燃型耐温更高),且热缩率<0.5%。半导体芯片制造过程中,部分工艺环节需要在高温环境下进行,该滤芯能够在高温条件下稳定工作,不会因温度变化而影响过滤性能和使用寿命。

耐腐蚀性强:玻璃纤维本身具有良好的化学稳定性,能够抵抗各种酸、碱、有机溶剂等化学物质的侵蚀。在半导体芯片制造中,会使用到各种化学药液和气体,玻纤烧结滤芯可以适应这些腐蚀性环境,保证过滤效果的稳定性和可靠性。

运行阻力低:玻纤烧结滤芯本身具有不粘尘、憎水和化学性能稳定等特性,对粉尘剥离性能良好,特别是对吸湿性强、易粘结硬化的粉尘具有良好的剥离性。这有助于降低过滤系统的运行阻力,提高气体或液体的通过效率,减少能源消耗。

可定制性强:根据不同客户的需求,玻纤烧结滤芯可以定制不同的尺寸、形状和过滤精度,以满足半导体芯片行业各种复杂应用场景的需求。例如,可以根据不同的工艺设备和过滤要求,定制合适的滤芯规格,确保最佳的过滤效果。