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芯片制造行业用烧结网滤芯

发布时间:2025-05-24     来源:利菲尔特
在芯片制造行业中,烧结网滤芯发挥着关键作用,以下从其应用场景、优势及特性等方面展开分析:

应用场景

超纯水系统过滤:在芯片制造中,对水质要求极高,超纯水系统用于芯片制造等工艺。烧结网滤芯可用于超纯水的过滤,去除水中的微小颗粒、有机物和微生物等杂质,确保超纯水的高纯度,满足电子元件制造的需求。

化学药液过滤:半导体制造过程中,光刻、蚀刻等工艺使用的各种化学药液需要极高的纯度。烧结网滤芯可有效去除药液中的颗粒杂质,防止对半导体芯片造成污染,提高产品良率。

工艺气体净化:半导体制造中会使用各种工艺气体,如氮气、氢气等。烧结网滤芯能去除气体中的尘埃、微粒和其他污染物,为半导体制造提供洁净的气体环境。

优势及特性

高精度过滤:烧结网滤芯对2 - 200μm的过滤粒度均可发挥均一的表面过滤性能,能够高效地去除气体和液体中的微小颗粒、尘埃以及细菌等杂质,为芯片制造提供高纯度的工作介质。

耐腐蚀性强:在半导体生产过程中,会用到各种强酸、强碱等腐蚀性化学试剂。烧结网滤芯通常采用不锈钢等材质,本身具备优异的耐腐蚀性,经过烧结工艺后,滤芯的结构更为紧密,耐腐蚀性进一步增强,无论是在酸性的刻蚀液过滤中,还是在碱性的清洗液过滤里,都能够始终保持稳定的性能,长期有效地发挥过滤作用。

高强度与稳定性:芯片制造设备通常在高温、高压的环境下运行,这就要求过滤元件具备足够的强度与稳定性,能够承受设备运行过程中的各种应力与压力。烧结网滤芯采用特殊的烧结工艺,使得滤芯内部的金属颗粒紧密结合,形成了高强度的整体结构。即便在高温、高压的条件下,滤芯也不会出现变形、破裂或者泄漏的情况,有力地确保了过滤过程的安全可靠。同时,这种高强度与稳定性也使得滤芯具有较长的使用寿命,降低了企业的设备维护成本与生产成本。

良好的透气性与分离效果:在半导体生产过程中,需要对气体进行过滤和分离,以去除其中的杂质和水分。烧结网滤芯的孔隙结构均匀,透气性良好,能够保证气体顺畅通过,同时有效地拦截杂质和水分。

易于清洗和反清洗:烧结网滤芯采用表层过滤结构,具有极佳的逆流清洗效果,清洗过程简单快捷,降低了维护成本。