半导体行业用不锈钢纤维烧结毡
半导体行业用不锈钢纤维烧结毡，以优质不锈钢纤维为原料，经梳理铺网、高温烧结等多道精密工艺加工而成。不同于普通过滤材料，该烧结毡通过特殊工艺使不锈钢纤维相互交织、熔合，形成三维立体且均匀分布的孔隙结构，兼具金属材料的高强度与过滤材料的精细截留能力。在半导体制造对洁净度、稳定性近乎苛刻的要求下，不锈钢纤维烧结毡凭借卓越性能，成为保障芯片制造、晶圆加工等核心环节高效运行的关键材料，为半导体产业的高精度生产提供坚实支撑。
性能特点
超高精度过滤：具备 0.1 - 10μm 的精准过滤精度，能够有效拦截半导体生产过程中流体或气体里的微小颗粒、金属离子、胶体等杂质，哪怕是纳米级污染物也难以遁形，确保生产环境和物料的超高纯净度，满足半导体制造对无尘、无杂的严苛要求 。
极低的颗粒析出：选用高纯度不锈钢原料，在生产过程中严格控制杂质含量，经烧结工艺处理后，材料本身不易产生纤维脱落、颗粒释放等问题，避免对半导体产品造成二次污染，这对精密的芯片制造、光刻等工序尤为重要。
优异的化学稳定性：不锈钢材质使其对半导体生产中常用的酸碱试剂（如氢氟酸、浓硫酸等）、有机溶剂具有出色的耐受性，在蚀刻、清洗等工艺环节，能够稳定过滤腐蚀性液体，不与化学介质发生反应，保障过滤过程的可靠性和材料使用寿命。
良好的抗静电性能：通过特殊处理，不锈钢纤维烧结毡具备抗静电特性，可有效防止因静电吸附灰尘、颗粒，避免影响过滤效果，同时降低静电对半导体元器件的损害风险，为生产提供安全稳定的环境。
高强度与柔韧性：三维立体的纤维结构赋予其良好的柔韧性，便于加工成不同形状和规格；同时又具备高强度，在高压差、高流速的过滤工况下，不易破损、变形，可长期稳定使用，减少更换频率和维护成本。
应用领域
超纯水制备环节：用于半导体超纯水生产系统，过滤水中的微小颗粒、细菌、有机物和金属离子等杂质，确保水质达到 18.2MΩ・cm 以上的超高电阻率标准，为芯片清洗、光刻等工艺提供纯净水源，防止水中杂质对晶圆表面造成划伤或污染。
电子气体过滤：在半导体制造所需的各类电子气体（如硅烷、氨气、氯气等）输送过程中，高效过滤气体中的尘埃、水分、油雾等杂质，保证气体纯度，避免因气体不纯影响薄膜沉积、刻蚀等工艺的精度和产品良率。
光刻胶过滤：过滤光刻胶中的微小颗粒和杂质，防止这些异物在光刻过程中影响图形转移的精度，确保芯片电路图案的准确性，对提高芯片集成度和性能至关重要。
蚀刻与清洗工艺：在半导体蚀刻、清洗工序中，过滤腐蚀性化学药液，去除其中的不溶性颗粒和杂质，保证药液的纯净度和活性，使蚀刻、清洗效果更均匀、精确，提升晶圆加工质量。
洁净室空气净化：作为洁净室空气过滤系统的核心材料，拦截空气中的微尘颗粒、微生物等污染物，维持洁净室的超高洁净等级（如 ISO 1 级或更高），为半导体芯片的生产提供无尘环境，减少产品缺陷率。
