半导体行业用钛粉末烧结滤芯
产品概述
产品特点
超高过滤精度：凭借先进的制备工艺，滤芯孔径可精准定制至 0.2μm 甚至更低，能够有效截留半导体生产过程中极易影响芯片性能的硅尘、金属离子等微小颗粒杂质，确保流体纯净度达到半导体行业严苛标准，保障芯片制造的高精度与良品率。
强化学稳定性：钛的钝化膜赋予滤芯卓越的抗腐蚀性能，可在半导体制造中常用的强腐蚀性化学试剂，如氢氟酸、浓硫酸、王水等环境下稳定运行，有效抵御酸碱腐蚀，避免因滤芯被腐蚀而引入杂质，确保过滤过程的稳定性与可靠性。
低金属离子析出：采用高纯钛原料及严格的生产工艺，使得滤芯在使用过程中几乎无金属离子析出，满足半导体制造对极低金属污染的要求，防止因金属离子污染影响半导体器件的电学性能和使用寿命。
耐高温与高洁净：可耐受高温环境，能适应半导体制造过程中部分高温工序，且在高温下不释放有害物质。同时，钛材质本身洁净无毒，不会对半导体生产环境造成污染，符合半导体行业对洁净度的极高要求。
高强度与长寿命：具有良好的机械强度，能够承受半导体生产设备运行过程中的压力波动与震动，不易变形或损坏。通过合理的清洗再生工艺，可多次重复使用，降低半导体企业的生产成本与滤芯更换频率。
应用领域
化学试剂过滤：半导体制造需使用多种化学试剂，如蚀刻液、清洗液等。滤芯可对这些化学试剂进行过滤，去除其中的颗粒杂质与金属离子，防止化学试剂中的杂质在芯片制造过程中对晶圆造成腐蚀或污染，保证化学试剂的纯度与稳定性，提高芯片制造工艺的可靠性。
特种气体过滤：在半导体器件制造的薄膜沉积、离子注入等工艺中，需使用高纯度的特种气体，如硅烷、氨气、氮气等。钛粉末烧结滤芯能够有效过滤气体中的颗粒污染物、水分及其他杂质，确保特种气体的高纯度，避免杂质影响气体在芯片制造过程中的反应效果与薄膜质量，保障半导体器件的性能与质量。
光刻胶过滤：光刻胶是光刻工艺的关键材料，其纯度直接影响光刻图案的精度与质量。滤芯可对光刻胶进行精细过滤，去除其中的颗粒杂质，防止杂质在光刻过程中造成图案缺陷，确保光刻胶的均匀性与稳定性，提升光刻工艺的精度与芯片制造的良品率。
品牌优势
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实力雄厚，源头厂家
根据客户的需求状况提供适合客户设计及解决方案。 -
研发生产，精工品质
源头生产厂家，拥有25000㎡专业化、规范化生产制造基地，设备品质精良。 -
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贴心为客户考虑细节，以及产品选型与投资平衡，降低客户的成本，专业的品质，多次获得客户好评。 -
技术创新，强大支撑
拥有多位高素质，高水准的污水处理领域技术人才多项自主研发专利，为客户提供专业技术支持，为企业生产保驾护航。
