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电子级粉末烧结滤芯
电子级粉末烧结滤芯

电子级粉末烧结滤芯以电子级高纯 316L 不锈钢、钛合金或高纯高分子粉末为原料,经高温真空无菌烧结一体成型,严格遵循电子行业超高洁净标准,无杂质、无离子溶出、无死角残留,依靠均匀致密的微孔结构实现气液

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产品概述

电子级粉末烧结滤芯以电子级高纯 316L 不锈钢、钛合金或高纯高分子粉末为原料,经高温真空无菌烧结一体成型,严格遵循电子行业超高洁净标准,无杂质、无离子溶出、无死角残留,依靠均匀致密的微孔结构实现气液固超精密分离,是电子行业保障生产介质超高洁净度的专用烧结滤芯,适配半导体、电子元器件、光伏等领域的严苛过滤需求。

性能特点

  1. 材质达电子级标准,选用高纯无杂质原料,无重金属、无离子溶出,不与电子级超纯水、电子化学品发生反应,无滤料脱落、粉末析出,杜绝二次污染,保障电子生产精度。

  2. 超高精密过滤,微孔分布均匀、孔径精准可控(可定制 0.01~1μm),过滤精度稳定,能高效拦截介质中的微小颗粒、胶体、微生物及痕量杂质,满足电子级洁净要求。

  3. 耐电子化学品腐蚀,可耐受光刻胶、显影液、蚀刻液、高纯溶剂等各类电子化学品,同时耐高温、耐高压,适配电子生产中多种复杂工艺工况。

  4. 结构光滑无死角,易清洗、易灭菌,可通过高温蒸汽灭菌、在线清洗、超声清洗实现再生复用,再生后过滤性能不衰减,降低耗材成本,符合电子行业洁净生产规范。

  5. 通量大、运行压差小,适配电子生产连续化、自动化生产线,可长时间稳定运行,减少停机维护频次,保障生产效率。

  6. 接口适配电子行业标准快装、法兰规格,密封性能卓越,无泄漏、无串流,安装拆卸便捷,适配电子洁净车间的模块化安装需求,避免污染生产环境。

应用领域

  1. 电子级超纯水过滤:半导体、光伏、电子元器件生产中,超纯水前置过滤、终端精滤,拦截水中痕量杂质、微生物,保障超纯水纯度(符合 UPW 标准)。

  2. 电子化学品过滤:光刻胶、显影液、蚀刻液、高纯溶剂、电子浆料的精密过滤,去除微小颗粒与杂质,避免影响电子器件制备精度。

  3. 半导体生产过滤:半导体晶圆清洗用水、工艺气体(氮气、氩气)过滤,拦截粉尘、油滴及微小杂质,保护晶圆表面洁净,提升半导体成品率。

  4. 电子元器件生产:电容、电阻、芯片等电子元器件生产中,工艺用水、辅料过滤,杜绝杂质混入,保障元器件性能稳定。

  5. 光伏行业过滤:光伏硅片清洗用水、光伏浆料过滤,去除微小颗粒与杂质,提升光伏组件转化效率。

  6. 电子级气体过滤:电子洁净车间压缩空气、惰性气体的超精密过滤,去除气体中的粉尘、油滴及痕量杂质,保障生产环境洁净度。

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